首先要明白激光清洗的原理。
激光清洗的实质其实就是激光与污物层的复杂的物理化学作用，即通过连续或脉冲激光的激光克服污物与基材表面之间结合力，使污物脱离基材表面而达到清洗的目的。
把高亮度和方向性好的连续或脉冲激光，通过光学聚焦和光斑整形后形成具有特定光斑形状与能量分布的激光束，照射到被污染的需要清洗的材料位置，其上附着的污染物材料吸收激光能量后，会产生振动、熔 化、燃烧，甚至气化等一系列复杂的物理化学过程，并最终使污染物脱离材料表面，同时不损坏材料本身。即使激光作用在清洗后的表面，绝大部分都是被反射掉，对基材不会造成损伤。
原理上，激光清洗对基材不会造成损伤。实际操作中看，在达到理想清洗效果的前提下，是否会对基材造成损伤？
1.清洗效果来看，要使清洗阈值处于起始阈值和基体损伤阈值之间。
这里所说的阈值是功率密度与热输入的阈值。如上图所示，只有在大于基体损伤阈值时（红色区间），才有可能造成基材烧蚀氧化。 绿色区间的清洗阈值可以在清洗效果和基材无损间达到平衡。
2.清洗速度也是重要的工艺参数之一，影响基材表面的热输入大小。
在功率一定的条件下，如果清洗速度太小，则热输入相应较小，则达不到使污层汽化蒸 发的阈值或需要多次清洗才能达到清洗效果；如果热输入太大，则有可能使基材表面受损。是对于散热较慢的金属基材，此时则需要惰性气体来进行保护。
可以看出，合理控制工艺参数，能够实现镜面模无损清洗。
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